半導體行業中氣體檢測儀的應用

智能手機、平板電腦、游戲機、導航系統、純平顯示器，這些以及其他很多高科技產品由于半導體產業才得以存在。在半導體芯片生產線制程工藝中，會使用到特種工藝氣體，也會產生大量危險性氣體，需要使用氣體檢測儀對空氣中有毒有害氣體含量進行檢測，防止因氣體泄漏，導致危險發生。

（東日瀛能 SK/MIC-800-GAS-Y 便攜式氣體檢測儀）

特種工藝氣體

目前，應用于半導體產業的特種氣體有110余種，常用的有20-30種。

按其危險性分類可分為：惰性氣體、易ran氣體、毒性氣體、腐蝕性氣體、氧化性氣體、低溫氣體。

1惰性氣體

不可燃氣體有N2、Ar、He等，它們具有窒息性，即取代肺中的氧氣后能讓人窒息而死。

2易ran氣體

易ran氣體有C2H2、H2、CH4、SIH4、PH3、NH3等，它們具有窒息性，可燃性，其中有些氣體如H2、CH4、SIH4、PH3還具有爆炸的可能性。

3毒性氣體

毒性氣體有AsH3、PH3、COCL2等,它們的毒性對身體有害，有的可能造成人員中毒死亡。中毒途徑有吸人、吸收(通過皮膚)、吞食、注射(通過傷口)。

4腐蝕性氣體

腐蝕性氣體可分為低腐蝕性氣體如HF、BCL3、和高腐蝕性氣體如HCL、BF3、二氯甲烷(DCS)、三lv甲烷(TCS)及三氯化氯(CLF3)等，它們具有摧毀人的生理組織以及腐蝕設備的危害。

5氧化氣體

氧化性氣體有O2、N20等它們具有助燃性、高反應性。

6低溫氣體

低溫液體是指在常壓下沸點低于-240，例如：液氧、液氬、液氮、液氫、液氦。它們的低溫可能會引起凍傷，以及引起周圍物品的損傷危險，包括過冷、過大的體積膨脹。

（東日瀛能 SK-7500-GAS-Y 固定污染源廢氣氣體在線監測預處理系統）

廢氣

半導體芯片生產過程中，會產生大量的有毒有害氣體

主要包括：酸堿廢氣和有機廢氣兩類。

酸/堿廢氣包括：氨氣、硫酸霧、氟化物、氯化物、氯氣等。

有機廢氣包括：非甲烷總烴、氮氧化物、二氧化硫等；

主要危害：

半導體芯片生產線的切題危害，主要是器件清洗等表面處理過程中因使用一些化學藥劑（如硫酸、鹽酸、氟氯化碳、四氯化碳、三氯乙烷及其他有機鹵化物）揮發造成的，以及整機裝配過程中產生的粉塵，會造成人群慢性或急性中毒。

檢測儀器

東日瀛能SK/MIC-600-GAS-Y固定式可燃有毒有害氣體濃度檢測儀與SK/MIC-800-GAS-Y便攜式可燃有毒有害氣體濃度檢測儀采用進口傳感器，抗中毒，高穩定性高精度，可實時在線監測其濃度，自帶顯示與聲光報警。固定式自帶4-20MA、RS485以及開關量輸出，可定制無線傳輸數據，高低報警值自由設置，當氣體濃度超標時，自動發出85dB以上的報警聲響，聯動排氣扇等設備，做出相應的防護動作。精度高、穩定性強、誤差率低；配備工業級鋁合金防護外殼，堅固耐用。

（東日瀛能 SK/MIC-600-GAS-Y 固定式氣體檢測儀）